X-RAY荧光光谱仪就是由x射线光管发生的一次x射线激发样品，试样可以被激发出各种波长的特征x射线荧光，需要把混合的x射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的x射线的强度，以进行定性和定量分析的方法。
X-RAY荧光光谱仪是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。
X-RAY荧光光谱仪具有吸收光子能力的物质在特定波长光(如紫外光)照射下可在瞬间发射出比激发光波长长的荧光，利用物质进行定性、定量分析的方法称为荧光分析法。辐射峰的波长与强度包含许多有关样品物质分子结构与电子状态的信息，但外界因素对其荧光强度结果有一定的影响。当某些物质受到紫外线照射时，会发射出各种颜色和不同强度的可见光，当紫外线停止照射时，所发射的光线会随即消失，人们将这种光线称为荧光。荧光由一种能发荧光的物质-萤石而得名。荧光的产生主要包括物质分子对光能的选择性吸收、激发和分子的去活化三个过程。
X-RAY荧光光谱仪的使用安全规则：
1、安装和维护须由受培过训的人来实施。
2、安全设施不能由未受培训的人员来处理。
3、用户须做到：按当地的安全规则来处理和操作系统。
4、所有的X-ray分析系统须定期用合适的仪器检查。
5、一旦设备处于不安全状态，须切断电源，并在设备上张贴“不得使用”字样。
6、操作人员须佩带个人剂量牌。
7、所有操作人员知道安全的必要性。
8、校正、调整、维修和更换X射线管须由受过培训的人员来实施。
