膜厚测试仪xray

产品介绍

膜厚测试仪x-ray是一款无损、快速测厚仪器，主要针对金属镀层厚度进行分析，天瑞仪器是国内膜厚测试仪x-ray品牌产品生产厂家，分析仪器上市（股票代码：300165）公司。

应用优势

1.无损、、快速测量各种电镀层的厚度.

2.电镀层可以是单层/双层/三层

3.镀金/镀银/镀镍/镀铜等都可以测量

4.有电镀液成份分析以及金属成份分析等软件

5.易操作/易维护

6.准直器程控交换系统 多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制

技术指标

分析元素范围：硫（S）～铀（U）

同时检测元素：多24个元素，多达5层镀层

分析含量：一般为2ppm到99.9%

镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同）

SDD探测器：分辨率低至135eV

*的微孔准直技术：小孔径达0.1mm,小光斑达0.1mm

样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头

准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合

仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm

样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm

样品台尺寸：393（W）x 258 （D）mm

X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 速度333.3mm/s

X/Y/Z平台重复定位精度：小于0.1um

操作环境湿度：≤90%

操作环境温度：15℃～30℃

性能优势

1.精密的三维移动平台

2.的样品观测系统

3.*的图像识别

4.轻松实现深槽样品的检测

5.四种微孔聚焦准直器，自动切换

6.双重保护措施，实现无缝防撞

7.采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度

全自动智能控制方式，一键式操作!

开机自动自检、复位；

开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样；

关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦；

直接点击全景或局部景图像选取测试点；

点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示结果。

工作原理

　　若一个电子由轨道游离，则其他能阶的电子会自然的跳至他的位置，以达到稳定的状态，此种不同能阶转换的过程可释放出能量，即X-射线。因为各元素的每一个原子的能阶均不同，所以每一元素轨道间的能阶差也不同相同。

下述可描述X-射线荧光（x-ray）的特性：若产生X-射线荧光是由于转移一个电子进入K 轨道，一个K轨道上的电子已事先被游离，另一个电子即代替他的地位，此称之为K 辐射。不同的能阶转换出不同的能量，如Kα辐射是电子由L轨道跳至K轨道的一种辐射，而Kβ辐射是电子从M 轨道跳至K轨道的一种辐射，其间是有区别的。若X-射线荧光是一个电子跳入L的空轨域，此种辐射称为L辐射。同样的L 辐射可划分为Lα 辐射，此是由M轨道之电子跳入L轨道及Lβ 辐射，此是由N 轨道之电子跳入L 轨道中。由于Kβ辐射能量约为Kα的11%，而Lβ辐射能量较Lα大约20%，所以以能量的观点Lα及Lβ是很容易区分的。

原子的特性由原子序来决定，亦即质子的数目或轨道中电子的数目，即如图所示特定的X-射线能量与原子序间的关系。K辐射较L辐射能量高很多，而不同的原子序也会造成不同的能量差。

　　特定的X-射线可由比例计数器来侦测。当辐射撞击在比例器后，即转换为近几年的脉波。电路输出脉冲高度与能量撞击大小成正比。由特殊物质所发出的X-射线可由其后的鉴别电路记录。

　　使用X-射线荧光原理测厚，将被测物置于仪器中，使待测部位受到X-射线的照射。此时，特定X-射线将由镀膜、素材及任何中间层膜产生，而检测系统将其转换为成比例的电信号，且由仪器记录下来，测量X-射线的强度可得到镀膜的厚度。

　　在有些情况，如：印刷线路板上的IC导线，接触针及导体的零件等测量要求较高 ,一般而言，测量镀膜厚度基本上需符合下述的要求：

1.不破坏的测量下具高精密度。

2.极小的测定面积。

3.中间镀膜及素材的成份对测量值不产生影响。

4.同时且互不干扰的测量上层及中间镀膜 。

5.同时测量双合金的镀膜厚及成份。

而膜厚测试仪，x-ray法就可在不受素材及不同中间膜的影响下得到高精密度的测量。